奈極儀器有限公司

EVANANO TECH CO., LTD
   
 
 
PRODUCTS
產品資訊
  Nspm-6800Th型掃瞄熱顯微鏡  
  系統介紹  
    Nspm-6800Th型掃瞄熱顯微鏡是在Nspm-6800SPM基礎上配合熱掃瞄配件,可用於探測樣品表面微區的熱信息。可測量溫度和熱導變化,同時可以對微區進行加熱。可以作為測量低,高介電質的熱導係數及電子元件故障分析的工具。相對於其它測量熱導係數的技術,掃瞄熱顯微鏡技術是唯一不需要接觸試樣表面,距離十微米內就可以測量的非破壞性技術,並具有較好的分辨率。利用掃瞄熱顯微鏡觀測電子元件,可以輕易地找到熱點的位置,通常也是電子元器件故障的位置,即使此熱點上有幾微米厚的金屬層,介電層及保護層。   
  功能特點    
  在Nspm-6800上增加熱測量分析功能  
  可對樣品在微區範圍內加熱
  可測熱導係數
 
 
技術參數    
       
 
 掃瞄範圍  30µm X 30µm
 樣品台尺寸  20mm X 20 mm
 溫度分辨率  1℃
 熱探針曲率半徑  5μm
 熱探針材料  Pt/Rh
 溫度範圍  0℃∼400℃
 溫升速率  1500℃/min
 探針加熱模式  Conductivity Contrast Mode Temperature Contrast Mode
 工作溫度  20℃∼30℃ ±2℃/h以下
 濕度  20∼70%
 電源  AC220 ±10V
 
 
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