奈極儀器有限公司
EVANANO TECH CO., LTD
繁體中文
English
I
MAGE GALLERY
TECHNICAL ARTICLES
RESOURCES
WEB LINKS
PRODUCTS
產品資訊
Nspm-6800Th型掃瞄熱顯微鏡
系統介紹
Nspm-6800Th型掃瞄熱顯微鏡是在Nspm-6800SPM基礎上配合熱掃瞄配件,可用於探測樣品表面微區的熱信息。可測量溫度和熱導變化,同時可以對微區進行加熱。可以作為測量低,高介電質的熱導係數及電子元件故障分析的工具。相對於其它測量熱導係數的技術,掃瞄熱顯微鏡技術是唯一不需要接觸試樣表面,距離十微米內就可以測量的非破壞性技術,並具有較好的分辨率。利用掃瞄熱顯微鏡觀測電子元件,可以輕易地找到熱點的位置,通常也是電子元器件故障的位置,即使此熱點上有幾微米厚的金屬層,介電層及保護層。
功能特點
在Nspm-6800上增加熱測量分析功能
可對樣品在微區範圍內加熱
可測熱導係數
技術參數
掃瞄範圍
30µm X 30µm
樣品台尺寸
20mm X 20 mm
溫度分辨率
1℃
熱探針曲率半徑
5μm
熱探針材料
Pt/Rh
溫度範圍
0℃∼400℃
溫升速率
1500℃/min
探針加熱模式
Conductivity Contrast Mode Temperature Contrast Mode
工作溫度
20℃∼30℃ ±2℃/h以下
濕度
20∼70%
電源
AC220 ±10V
EVANANO TECH CO.,LTD
奈極儀器有限公司
COPYRIGHTS ©2008 EVANANO TECH CO.,LTD
奈極儀器有限公司
TEL(FAX):05-5510987,
Mail:
ent@evananotech.com