奈極儀器有限公司

EVANANO TECH CO., LTD
   
 
 
PRODUCTS
產品資訊
  Nspm-8200型大範圍掃瞄探針顯微鏡  
  系統介紹  
    Nspm-8200型SPM可將測定範圍擴大到數百個微米,同時加強儀器的自動化性能以及抗干擾能力,使之可以滿足工業環境下微電子工業生產的大面積材料檢測以及自動,快速,可靠地對多個樣品測定的能力,是SPM從實驗室走向實際的生產線。   
  功能特點    
  擴大測量範圍至200μm  
  獨立的X/Y和Z方向掃瞄器
  數字化控制系統
  可低溫操作
  分辨率高
  重複定位精度高
  自動聚焦
 
 
技術參數    
       
 
 最大量程  橫向:200μm×200μm 縱向:16μm
 工作溫度  ﹣20∼80℃
 操作電壓  ﹣10∼ ﹢150V
 分辨率  橫向:0.1nm 縱向:0.01nm
 掃瞄器共振頻率  X軸:0.9kHz Y軸:1.2kHz
 
 
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