奈極儀器有限公司

EVANANO TECH CO., LTD
   
 
  繁體中文
 
English
 
 
Resources
相關資源
掃瞄探針顯微鏡(SPM)基本原理
原子力顯微鏡(AFM)
原子力顯微鏡(AFM)
   
  第 一台AFM則的工作原理是通過用隧道電流檢測力敏元件的位移來實現力敏元件探針尖端原子與表面原子之間的排斥力的監測,進而得到表面形貌像。由於不需要在 探針與樣品間形成電回路,突破了樣品導電性的限制,因而有更加廣泛的應用領域。Binnig等人研製的第一台AFM當時只有3nm的橫向分辨率。1987 年斯坦福大學Quate等人報導了他們的AFM達到了原子級分辨率。AFM由探頭、電子控制系統、計算機控制及軟件系統、步進電機樣品自動逼近控制電路四 部分構成。半導體激光器發出的激光束,經透鏡會聚到微探針頭部,由微探針反射回來,再經一反射鏡到達光斑位置敏感器--二像限光電檢測器上,轉化為電信號 後,再由前置放大器放大後送給反饋電路。計算機發出的數字信號經DAC轉化為模擬信號,以高壓運放放大後驅動壓電陶瓷管作xY平面掃瞄。由於反饋電路的作 用,掃瞄時微懸臂保持不動,樣品表面的起伏通過壓電陶瓷管z方向伸縮進行補償。同時,計算機通過ADC採集每個x,Y坐標點所對應的反饋電路輸出值,再轉 化為灰度級在監視器上顯示出掃瞄範圍中樣品的表面形貌。另外,樣品同探針距離調整採用步進電機帶動螺桿使樣品台升降來控制,開始工作時啟動樣品逼近開關, 樣品台上升帶動樣品向探針逼近,當樣品距探針到達設定的工作距離時,檢測系統自動發出一負脈衝信號,從而使步進電機迅速停下來,此時系統進入工作狀態。
           
 
 
           
  EVANANO TECH CO.,LTD 奈極儀器有限公司  
COPYRIGHTS ©2008 EVANANO TECH CO.,LTD 奈極儀器有限公司
 
 
TEL(FAX):05-5510987, Mail:ent@evananotech.com