EVANANO TECH CO., LTD

奈極儀器有限公司

 
   
 
 
PRODUCTS
產品資訊
  小型高精度工件台
  系統介紹
   
 
   
 
  技術參數  
   
 
 曝光面積(XY行程)  ≧ 30 X 30 mm
 工件台定位精度  80 nm
 工作台測量精度  20 nm
 樣品尺寸  ≧ 1 英吋晶片
 掃瞄場尺寸  達到100 um 或更大,場大小可以數字方式任選
 拼接精度  ≦ 140 nm
 套刻精度  ≦ 140 nm
   
 
  透過與掃瞄電子顯微鏡(SEM)搭配,不僅可用於電子束加工離子束加工和激光直寫加工等應用,並可大大擴大電子束曝光系統的功能和使用範圍。
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