奈極儀器有限公司
　
  　
EVANANO TECH CO., LTD
　
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PRODUCTS
 產品資訊
　 DY-2000A型納米通用圖形發生器
　 系統介紹
   
　
　　DY-2000A型納米通用圖形發生器是納米加工的重要裝備。它可以配備到掃瞄電子顯微鏡(SEM),聚焦離子束系統(FIB)和掃瞄探針顯微鏡(SPM)上，構建成納米加工設備，進行納米圖形加工和納米微結構製造。它適用於科研院所和高等院校的半導體，光電子，微機電系統(MEMS)實驗室。
  　
　
　 功能特點 　
　 與高分辨率SEM結合，可組成高分辨率專用電子束 曝光機，用於小面積微納米器件的研究。
　 與高電壓透射電子顯微鏡結合，可組成高分辨率，高深寬比的電子束曝光系統，用於製作高深寬比微奈米結構。
 

與高分辨率SEM，激光控制精密工件台組合，可組成高分辨率通用電子束曝光機，它不僅可用於微奈米器件的研
  　
　 　 　
儀器配件
　 高速數字信號處理器(DSP)
　 高精度標記圖形數據採集器
　 先進，快速的SCSI接口
  恆溫控制的高精度16位數模轉換器(D/A)
　 有激光工件台位置跟蹤數據輸入及LBC　跟蹤D/A
　 5 吋液晶跟蹤顯示器(LCD)
　 控制用PC 　
　 　 　
　 　 　
軟件 　
　 接受GDSⅡ，CIF和DXF圖形數據格式
　 繪圖功能(矩形，三角形，梯形，圓形，圓環，扇形和任意曲線圖形)
　 加工過程控制(曝光，工件台移動，束閘通斷)
　 掃瞄場位置，尺寸和旋轉修正
　 標記檢測與位置修正
　 鄰近效應修正
　 加工過程跟蹤顯示
　 　
　
　
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